3D10-101194-12 - Shield depo (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 3D10-101194-12
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: TEL 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의(주)백송이엔지 반도체 장비 정밀가공 부품 카탈로그
3D10-101152-13 - Shutter BTM (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 3D10-101152-13
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: TEL 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의3D10-100844-11 - Ring BTM shield (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 3D10-100844-11
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: TEL 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의3D10-100845-11 - Plate exhaust (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 3D10-100845-11
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: TEL 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의1D10-101475-11 - Baffle plate (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 1D10-101475-11
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: TEL 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의1D10-202177-12 - Upper electrode(vespel) (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 1D10-202177-12
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: TEL 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-045264-200 - Ground AL Slotted (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-045264-200
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-045264-242 - Ground AL Slotted (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-045264-242
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-801021-801 / 715-801021-838 / 715-801021-839 - Chamber liner (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-801021-801 / 715-801021-838 / 715-801021-839
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-059638-803 - Kyo EX Upper liner (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-059638-803
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-042721-866 - Kyo EX Inner liner (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-042721-866
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-460214-003 - Chamber body (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-460214-003
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-330889-002 - Ground ring (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-330889-002
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-330445-002 - MPN Plate adapter (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-330445-002
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-031986-008 - Housing reaction chamber (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-031986-008
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-030320-001 - Ground ring (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-030320-001
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-028486-002 - Plate upper seal (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-028486-002
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-011665-006 - Lower electrode cap (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-011665-006
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-011035-002 - Chamber base (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-011035-002
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의715-003851-002 - Insert gate valve (Lam Research)
부품번호(P/N): 715-003851-002
설비/제조사: Lam Research
규격 및 특징: LAM 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0021-34728 - Blocker plate (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0021-34728
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-92503 - RF Electrode feol (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-92503
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0041-28493 - TOP Plate (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0041-28493
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0042-10617 - TOP Plate for diffuser (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0042-10617
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-34978 - DPS Upper chamber (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-34978
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0021-26273 - DPS Cathode liner (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0021-26273
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0021-36743 - DPS Lower chamber(poly) (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0021-36743
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-81165 - DPS Door liner (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-81165
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 300mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0021-01421 / 0021-09601 / 0040-02544 - DPS Upper chamber(metal) (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0021-01421 / 0021-09601 / 0040-02544
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-32190 - Cooling base (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-32190
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-31942 - Chamber body ETCH OXIDE (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-31942
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-09893 - Etch chamber body (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-09893
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-05887 - Ultima cathode (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-05887
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 200mm
상세 사양 및 가공 견적 문의0020-34694 - Chamber out liner (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0020-34694
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: 반도체 식각/증착 챔버 외부 라이너 (P/N: 0020-34694, Applied Materials향). 고순도 알루미늄 정밀 가공 및 내플라즈마 특수 아노다이징 코팅.
상세 사양 및 가공 견적 문의0020-34696 / 0021-09718 - Slit valve liner (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0020-34696 / 0021-09718
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: 반도체 웨이퍼 이송 슬릿 밸브 라이너 (P/N: 0020-34696 / 0021-09718, Applied Materials향). 초정밀 슬릿 가공 및 고진공 기밀 유지.
상세 사양 및 가공 견적 문의0021-09625 - DPS Lower chamber(metal) (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0021-09625
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: 반도체 DPS 시스템 하부 챔버 메탈 바디 (P/N: 0021-09625, Applied Materials향). 복합 다축 밀링 및 대형 정밀 5축 머시닝센터 가공.
상세 사양 및 가공 견적 문의0021-39385 - Lid plate (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0021-39385
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: 반도체 챔버 상부 리드 플레이트 (P/N: 0021-39385, Applied Materials향). 원형 정밀 PCD 홀 패턴 가공 및 평탄도(Flatness) 3㎛ 이내 제어.
상세 사양 및 가공 견적 문의0020-34695 / 0021-09104 - Cathode liner (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0020-34695 / 0021-09104
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: 반도체 식각 캐소드 진공 챔버 라이너 (P/N: 0020-34695 / 0021-09104, Applied Materials향). 원형 정밀 링 선삭 및 고내식 아노다이징 코팅.
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-02609 - Cathode liner(magnet type) (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-02609
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: 마그네트 타입 반도체 캐소드 라이너 (P/N: 0040-02609, Applied Materials향). 다단 단차 정밀 가공 및 자기장 챔버용 특수 합금/표면처리.
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-03253 - E-MAX Chamber body (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0040-03253
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: 플라즈마 식각 장비 내부 라이너(Chamber Liner). 플라즈마 파티클 방지 및 부식 방지 특수 아노다이징 마감.
상세 사양 및 가공 견적 문의3D10-101153-12 - Ring BTM shield (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 3D10-101153-12
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: 300mm 반도체 챔버 링 쉴드
상세 사양 및 가공 견적 문의3D10-101154-12 - Cover shield BTM (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 3D10-101154-12
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: 300mm 하부 커버 쉴드
상세 사양 및 가공 견적 문의3D10-101195-12 - Ring BTM depo (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 3D10-101195-12
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: 300mm TEL 정밀 링 데포 부품
상세 사양 및 가공 견적 문의0020-33806 - Chamber Lid Plate (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0020-33806
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: 200mm/300mm AMAT 챔버 리드 플레이트 하드아노다이징
상세 사양 및 가공 견적 문의0020-20412 - Slit Valve Door Liner (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0020-20412
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 진공 슬릿 밸브 도어 라이너
상세 사양 및 가공 견적 문의0020-76123 - Showerhead Gas Diffuser (LAM Research)
부품번호(P/N): 0020-76123
설비/제조사: LAM Research
규격 및 특징: LAM 300mm 에칭 챔버 가스 디퓨저
상세 사양 및 가공 견적 문의0040-88192 - Upper Electrode Plate (Tokyo Electron)
부품번호(P/N): 0040-88192
설비/제조사: Tokyo Electron
규격 및 특징: TEL 300mm 상부 전극 플레이트
상세 사양 및 가공 견적 문의0020-55410 - Heater Pedestal Ring (Applied Materials)
부품번호(P/N): 0020-55410
설비/제조사: Applied Materials
규격 및 특징: AMAT 웨이퍼 히터 페디스탈 링
상세 사양 및 가공 견적 문의